1.預荷電集塵
利用極不均勻電場，或形成電暈放電，產生等離子體，其中包含的大量電子和正負離子在電場梯度的作用下，與空氣中的顆粒污染物發生非彈性碰撞，從而附著在上面，使之成為荷電離子，在外加電場力的作用下，被集塵極所收集。
其處理過程分三個階段：1）e+M（污染物分子）——M-；2）M-+SP（固體顆粒）——(SPM)-；3）(SPM)-——SPM（沉積在集塵極上）。靜電集塵是一個物理過程，在這個過程中，對懸浮在空氣中直徑小于100μm的總懸浮顆粒(TSP)和直徑小于μm的可吸人顆粒(PM10)有較高的清除效率。
2.等離子化學反應
通過前沿陡峭、窄脈寬（納秒級）的高頻高壓脈沖電暈流光放電，在常溫常壓下獲得非熱等離子體（Non-ThermalPlasmas），利用等離子體中的大量活性粒子對有毒、有害、難降解的污染物進行直接的分解去除。
通過兩個途徑實現：一是在高能電子的瞬時高能量作用下，打開某些有害氣體分子的化學鍵，使其直接分解成單質原子或無害分子；二是在大量高能電子、離子、激發態粒子和氧自由基、氫氧自由基(自由基因帶有不成對電子而具有很強的活性)等作用下，氧化分解成無害產物。
有機污染物和細菌在等離子體中的降解機理，主要包括以下過程：
（1）在高能電子撞擊作用下，電場空間內產生強氧化性自由基，如·O、·OH、·OH2；
（2）有機污染物分子受到高能粒子的碰撞被激發，分子鍵、基團斷裂形成大量的亞穩態基團和粒子；
（3）·O、·OH、·OH2等與激發態分子、破碎基團及其他自由基等發生一系列等離子體化學反應，有機分子終被氧化為CO2和H2O。
從有機物降解機理上分析,主要發生以下反應：
H2S+O2、O2-、O2+----SO3+H2O
NH3+O2、O2-、O2+----2NOx+H2O
VOCs+O2、O2-、O2+----CO2+H2O
（4）·O、·OH、·OH2；氧化性自由基和高速電子對細菌或組成病毒的DNA及蛋白質進行快速氧化，破壞和分解傳染病毒。
從細菌降解機理上分析,主要發生以下反應：
蛋白質+O2、O2-、O2+----CO2+H2O
3.電磁場作用下的負離子發生
利用不平衡強電磁和放電的方法，產生臭氧和負離子，在離子風驅動下，將其擴散到室內空間。適量濃度的負離子一方面調節了空氣中的離子平衡，另一方面，它還能有效地清除空氣中的污染物。高濃度的負離子同空氣中的有毒化學物質和病菌懸浮顆粒物相碰撞使其帶負電，而這些帶負電的顆粒物就會吸引其周圍帶正電的顆粒物（通常空氣中的細菌、病毒、抱子等是帶正電）。這種積聚過程一直持續到顆粒物的重量足以使它降落在地面為止。
除了積聚過程外，在有限的空間里空氣中帶負電的顆粒物還被吸附到帶正電的表面上，而通常情況下，房間里面大多數物體的表面（包括墻壁、地面、家具、電器等）都是帶正電的。
應用等離子體放電技術，產生高濃度的臭氧，同時調節空氣中的離子平衡，使負離子濃度保持在適當的水平，這對改善空氣品質和殺滅細菌有著重要的意義。
醫用等離子消毒機的優點
對室內空氣凈化，不僅要去除各種污染物(TSP和各種有害氣體)，調節空氣中的離子平衡，重要的是要殺滅細菌。應用物理過濾原理只能清除尺寸較大的懸浮顆粒物，而對尺寸較小的懸浮物、煙霧及有害氣體的清除能力較差，對殺菌和調節離子平衡無作用；應用化學吸收吸附原理則存在較大的安全風險，可能會引起二次污染。而使用等離子體技術則可以解決這些問題。
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